美國(guó)api激光干涉儀操作步驟
?首先將激光干涉儀放置于所需測(cè)量機(jī)器的工作平臺(tái)，讓激光照射的方向大致與所測(cè)軸運(yùn)動(dòng)方向平行。
?打開激光干涉儀下面的磁力座開關(guān)(如平臺(tái)非鐵件,需安裝- ~鐵板以便磁力座更好的吸附)。
?將機(jī)器所測(cè)量軸移動(dòng)至近處軟限位位置。
?將1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機(jī)器運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下穩(wěn)定不會(huì)晃動(dòng)的零部件上。(反射鏡與干涉儀均可作為運(yùn)動(dòng)測(cè)量t )
?激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后，檢測(cè)測(cè)量軸在做全程運(yùn)動(dòng)時(shí)能有效的接收激光照射且不會(huì)碰到反射鏡及機(jī)器的任意部件。
?氣象站材料溫度傳感器和空A氣溫度傳感器以及大氣壓力傳感器請(qǐng)放置于機(jī)器的工作臺(tái)面上。
XD Laser激光干涉儀的測(cè)試方法：
| 直線度測(cè)量 | — 應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測(cè)器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào))
— 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀)
— 對(duì)直線度進(jìn)行1:1的測(cè)量
— 可一次性安裝, 與線性誤差一起測(cè)量, 方便, 快速 |
| 垂直度測(cè)量 | — API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測(cè)量的，所以API干涉儀測(cè)兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，
— 無(wú)需其他鏡組裝/調(diào)非常方便快速
— 在測(cè)兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測(cè)出，
— 大大節(jié)省了測(cè)量所占用機(jī)床的時(shí)間，也可避免人為差錯(cuò)。 |
偏擺角/ 俯仰角測(cè)量 | — 良好的PSD技術(shù)來測(cè)量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無(wú)角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；
— 如果軸有角度變化，則光線會(huì)在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值，從而與焦距比較得出角度值。
— 測(cè)量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試。不受滾動(dòng)角的影響，調(diào)整光路容易 。 |
美國(guó)API激光干涉儀 XD-1D/ XD-3D/ XD-5D/ XD-6D主要技術(shù)參數(shù)：
| 功能型號(hào) | 單位 | XD-1D一維型 | xd-3d三維型 | xd-5d三維型 | xd-6d三維型 |
| 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密型 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密型 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 精密型 |
| 線性測(cè)量范圍 | m | 45 | | 45 | 45 | 40 | 45 | 45 |
| 線性精度 | ppm | 0.5 | | 0.5 | 0.5 | 0.2 | 0.5 | 0.2 |
| 直線度測(cè)量精度 | un | N/A | N/A | （2.0+0.4/m） 或2% | （1.0+0.2/m） 或1% | （0.5+0.1/m） 或1% | （1.0+0.2/m） 或1% | （0.5+0.1/m） 或1% |
偏擺角及俯仰角精度 | 角秒 | N/A | N/A | N/A | （1.0+0.1/m） 或1% | （0.5+0.05/m） 或1% | （1.0+0.1/m） 或1% | （0.5+0.05/m） 或1% |
| 滾動(dòng)角精度 | 角秒 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | 1.0或1% | 0.5或1% |
| 垂直度測(cè)量精度 | 角秒 | N/A | N/A | （1.0+0.4/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） |
| 材料溫度傳感器精度 | ℃ | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 空氣溫度傳感器精度 | ℃ | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.1 |
| 大氣壓力傳感器精度 | mm Hg | 1.0 | 0.3 | 0.3 | 1.0 | 0.3 | 1.0 | 0.3 |
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